fotolitogrāfija
Lietojuma biežums :
fotolitogrāfija
1.Fotomehāniska litogrāfijas tehnika, kur iespiedformu uz litogrāfijas akmens (vai metāla plāksnes) iegūst, negatīvu attēlu nokopējot uz gaismjutīgas kārtiņas un pēc tam ķīmiski apstrādājot; arī šādas iespiedformas novilkums.
2.Fotoķīmisks process, kurā uz pusvadītāja vai cita materiāla iegūst noteiktu mikroreljefu, kas atbilst veidojamās integrālās shēmas konfigurācijai.
Avoti: SV99
Korpusa piemēri